ZT-40-16D多晶硅铸锭炉

ZT-40-16D多晶硅铸锭炉

实验用8kg多晶硅铸锭炉ZT-40-16D

研发背景：

应某大学硅材料国家重点实验室要求，本公司新研发了一台小型实验室专用多晶硅铸锭炉，此设备具有如下特点：

1.具有当今市场主流铸锭炉的一切功能，包括实现全自动运行。

2.具有生产周期短，能耗低，实验成本节约的特点。

3.增加了部分新功能，除铸锭以外，还实现部分提纯功能。

技术参数：

1.功率：40KW

2.坩埚容量：标准10英寸

3.高温度：1550度

4.极限真空度：10-1Pa

5.保温罩上移距离：200mm

6.炉底大位移：800mm

7.进出料方式：炉底进出

8.加热元件：石墨管加热

9.保护功能：除了超压自动泄压、漏硅声光报警、更有*的漏硅保护措施，确保操作安全。

10.常用温度：1550℃

11.高温度：1600℃

12．控制方式：可控硅调功+大电流变压器

13．控温精度：±3℃

14．石英坩埚尺寸：198×198×200mm(L×W×H)

15．铸锭重量：2-8KG

16．保温桶大位移：200mm

17．空炉冷态极限真空度：≤6.67×10-1Pa

18．保温层移动速度：0.5-25mm /小时(可调)

19. 空炉冷态压升率：≤2 Pa/h

ZT-40-16D多晶硅铸锭炉